電子氣是集成電路、光電子、微電子,特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。
在液晶顯示器件、半導(dǎo)體制造工藝中所需的普通電子氣有氮?dú)?、氧氣、氬氣和氫氣等,作為載體和保護(hù)氣體。
在電子氣應(yīng)用領(lǐng)域有眾多業(yè)績
近年來阿特拉斯·科普柯氣體與工藝部為一些世界知名氣體公司新建的眾多大型空分裝置配套離心式壓縮機(jī),這些氣體公司為最終客戶的芯片廠及液晶顯示器件廠提供超高純氮?dú)狻⒀鯕?、氬氣、氫氣和壓縮干燥空氣。
業(yè)績:
為京東方武漢液晶顯示器項(xiàng)目的空分裝置提供組合壓縮機(jī)。
為維信諾(合肥)G6全柔AMOLED生產(chǎn)線配套項(xiàng)目的空分裝置提供組合壓縮機(jī)。
為中芯國際天津工廠產(chǎn)能擴(kuò)建項(xiàng)目的配套空分裝置提供組合壓縮機(jī)。
為韓國三星(西安)一期晶圓廠的配套空分裝置提供組合壓縮機(jī)。
氣體與工藝部2段式組合壓縮機(jī)
(維信諾項(xiàng)目)
上圖是我們?yōu)榫S信諾項(xiàng)目配套的壓縮機(jī)。維信諾是一家為新型顯示提供整體解決方案的創(chuàng)新型企業(yè),主要生產(chǎn)柔性屏。在柔性屏的生產(chǎn)過程中需要使用高純度的氮?dú)庾鳛楸Wo(hù)氣,配套空分裝置使用的是阿特拉斯·科普柯氣體與工藝部GT系列2段式組合壓縮機(jī)。
氣體與工藝部組合機(jī)的優(yōu)勢
阿特拉斯·科普柯氣體與工藝部組合壓縮機(jī)不僅適用于電子氣,在有色金屬、氣體公司現(xiàn)場供氣、液體空分等領(lǐng)域同樣適用。
與傳統(tǒng)的分體機(jī)(如主空壓機(jī)搭配增壓機(jī)、循環(huán)壓縮機(jī)搭配補(bǔ)給壓縮機(jī))相比,組合壓縮機(jī)采用一體機(jī)形式,不僅降低購置成本,也為客戶運(yùn)營過程降低了能耗,起到節(jié)能效果,同時(shí)減少占地面積。
節(jié)省電機(jī)成本
常規(guī)兩臺(tái)壓縮機(jī)需要兩臺(tái)電機(jī)驅(qū)動(dòng),組合機(jī)只需一臺(tái)電機(jī)驅(qū)動(dòng),為客戶降低5%~15%電機(jī)采購成本。
節(jié)省整機(jī)成本
常規(guī)兩臺(tái)壓縮機(jī)兩臺(tái)主機(jī),組合機(jī)只需一臺(tái)主機(jī),為客戶降低15%~20%的整機(jī)采購成本。
提高效率
組合機(jī)選用的電機(jī)功率較高,使效率增加1.5%~ 2%,起到節(jié)能的作用,為客戶提高投資回報(bào)率
減少占地面積
采用二合一設(shè)計(jì),為客戶減少35%~60%占地面積。
除了主空壓機(jī)+氮?dú)庋h(huán)壓縮機(jī)組合機(jī)外,我們還有眾多組合:
主空壓機(jī)+空氣增壓機(jī)的組合機(jī),主要用于有色金屬、氣體公司現(xiàn)場供氣、液體空分等;
循環(huán)壓縮機(jī)+補(bǔ)給壓縮機(jī)的組合機(jī),主要用于液化裝置等;
主空壓機(jī)+膨脹機(jī)的組合機(jī),主要用于尾氣回收利用(硝酸工藝)、制冷(天然氣液化)等。